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產(chǎn)品中心實驗檢測儀器光學輪廓顯微鏡
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納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量系統(tǒng)基于白光干涉儀原理、結(jié)合Z向精密壓電掃描模塊和三維重建算法準確獲 得各種精密器件和材料表面形貌數(shù)據(jù)，適用于反 射率0.05%-100%、超光滑至粗糙等多種表面測量求，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級精度測量、重構(gòu)表面形 貌3D輪廓。
產(chǎn)品型號：PZ-Mico D
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3D光學輪廓顯微鏡使用光學輪廓儀，集成了共聚焦計數(shù)和干涉測量技術(shù)，并具有薄膜測量能力，該系統(tǒng)可以用于標準的明場彩色顯微成像，共焦成像，三維共焦建模，PSI、VSI及高分辨率薄膜厚度測量。
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